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幹法去膠主要是利用草莓视频APPIOS下载去膠機去除光刻膠，原理是利用電離氧氣產生的活化氧與光刻膠發生氧化反應並將其氧化成水汽和二氧化碳等排出腔室。草莓视频APPIOS下载去膠的優點是去膠操作簡單、去膠效率高、環保、去膠後晶圓表麵幹淨光潔、無劃痕，而且對結構的其它層無損傷。