產品簡介
微波草莓视频APPIOS下载去膠機NE-MW10可用於批量晶圓去膠和清除殘膠，專為實驗室和研發使用而設計， 設備使用2.45GHz微波草莓视频APPIOS下载源，在真空腔內將氧氣起輝激發至高能量的草莓视频APPIOS下载體態後轟擊樣品表麵的光刻膠、聚酰亞胺等有機物，高能的氧草莓视频APPIOS下载體可破壞碳碳鍵，從而將吸附的有機雜質反應成氣態脫離表麵，也可在樣品表麵形成羥基，以實現清潔和活化的目的。
微波放電是一種在低氣壓下形成高密度草莓视频APPIOS下载體的技術，它具有無極放電、高密度、高電離度、高活性等特點，不產生自偏壓，不會對CMOS，MEMS等敏感器件造成損傷。
產品參數
| 型號 | NE-MW10 |
| 腔體尺寸 | Ф170*250(D) |
| 腔體容量 | 6L |
| 處理層數 | 1層 |
| 草莓视频APPIOS下载發生器頻率 | 2.45GHZ |
| 草莓视频APPIOS下载發生器功率 | 600W |
| 控製係統 | PLC+HMI |
| 真空泵 | 幹泵/油泵（可選） |
| 輸入電壓 | 220V |
| 外形尺寸 | 465*415*480 |
產品應用
去除光刻膠
聚酰亞胺刻蝕
有機薄膜去除
樣品的活化和清潔處理
光刻後的殘膠去除
MEMS製造中去除犧牲層
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