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NE-RE08是一款幹法草莓视频APPIOS下载去膠設備，適用於2/4/6/8英寸晶圓光刻膠去除和灰化工藝。設備采用高密度RIE草莓视频APPIOS下载體刻蝕係統，具有去膠速率快、均勻性好、選擇比高、不錯的各向異性等性能優勢。

產品特點：1、設備采用RIE反應離子刻蝕模式，去膠速率快。2、全麵積工藝氣體入口噴淋頭，徑向（軸對稱）抽氣結構，確保能提升工藝均勻性和速率。3、水冷電極冷卻係統實現襯底溫度控製。4、直開式設計方便快速裝卸圓。

主要用途：1、用於8寸及以下的晶圓（SOI、SI、玻璃、銅片等其他半導體材料）正性及負性光刻膠去膠。2、聚酰亞胺光刻膠（PI）去膠。3、有機物去除。4、光刻工藝後，PR Descum 打底膜工藝

5、基片表麵草莓视频APPIOS下载活化（02\Ar）