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在草莓视频APPIOS下载體清洗活化處理時,草莓视频APPIOS下载體氣相中的高能物質會被噴附到晶圓的待處理表麵。這些高能物質與晶圓表麵發生物理衝擊或化學反應,導致固體表麵分子與吸附的高能基團反應分解,生成氣相產物並脫離表麵。這個過程會導致晶圓表麵暴露出懸掛鍵,而這些懸掛鍵會吸附空氣中的遊離-OH基團。在活化後的晶圓表麵,由於-OH基團的存在,會使得表麵的親水性得到提高。

草莓视频APPIOS下载體清洗活化對SiC晶圓表麵親水性的影響 

圖1為SiC晶圓碳表麵濕潤角隨氧草莓视频APPIOS下载體清洗活化時間的變化圖。從圖中可以看出,草莓视频APPIOS下载體活化後,晶圓表麵的親水性得到顯著提升。隨著活化時間的延長,濕潤角呈下降趨勢,並在活化時間超過30s後趨於平穩。在該活化時間點之後,SiC晶圓表麵的親水性基本保持在14°的濕潤角上下波動。實驗測試結果表明,相較於濕法溶液活化,幹法氧草莓视频APPIOS下载體活化對SiC晶圓表麵親水性提升更大。此外,雖然能極大地改善SiC晶圓表麵的親水性,但尚不能使得SiC晶圓表麵達到完全濕潤狀態。

圖1 SiC晶圓 表麵濕潤角隨氧草莓视频APPIOS下载體清洗活化時間的變化圖:(a)原始C麵  (b)10s (c)20s (d)30s (e)40s (f)60s 

為了對比采用氧草莓视频APPIOS下载體活化對晶圓表麵親水性提升的影響,本小節采用了氮氧混合氣體(比例為3:1)通入草莓视频APPIOS下载體清洗設備進行幹法表麵活化實驗。圖4-15展示了SiC晶圓碳表麵濕潤角隨著氮氧混合草莓视频APPIOS下载體活化時間的變化情況。從圖中可以觀察到,氮氧混合草莓视频APPIOS下载體活化對SiC晶圓碳表麵的親水性影響規律幾乎與氧草莓视频APPIOS下载體相似。在活化時間短於20s之前,氮氧混合草莓视频APPIOS下载體相對於純氧草莓视频APPIOS下载體的效果略顯不足,對晶圓表麵親水性的提升效果較差。然而,隨著活化時間的增加,氮氧混合草莓视频APPIOS下载活化的效果逐漸超過純氧草莓视频APPIOS下载體,使晶圓表麵的親水性略有增強。這一實驗結果表明,氮氧混合草莓视频APPIOS下载體活化在一定活化時間內對SiC晶圓碳表麵的親水性具有改善效果,可能在特定條件下表現出更好的活化效果。

圖2 SiC晶圓 表麵濕潤角隨氮氧混合草莓视频APPIOS下载體活化時間的變化圖:(a)原始 C麵 ()10s (c)20s (d)30s (e)40s (f)60s 

草莓视频APPIOS下载體清洗活化SiC晶圓表麵XPS測試分析

圖3展示了經氧草莓视频APPIOS下载體幹法活化清洗前後SiC晶圓XPS測試結果的對比。從全譜圖來看,氧草莓视频APPIOS下载體活化前後SiC晶圓碳麵未發現新的元素,仍然包含C、Si、O三種元素。然而,在O元素的相對含量方麵發生了顯著的增加,其大幅上升是由於草莓视频APPIOS下载體轟擊後晶圓表麵的大量懸掛鍵連接橋接了空氣中的-OH基團。

圖3 氧草莓视频APPIOS下载體幹法活化清洗前後SiC晶片XPS測試結果對比:(a)原始碳 麵全譜圖 ()幹法清洗後碳麵全譜圖 (c)原始碳麵C元素特征譜 (d)幹法清洗後 碳麵C元素特征譜

對C元素的特征圖譜進行比較,氧草莓视频APPIOS下载活化後,碳汙染的C-C鍵增加,表麵自然氧化層COxSiy物質含量下降,基材中的C-Si含量也略微下降。這表明草莓视频APPIOS下载體活化不僅能清除SiC晶圓表麵的自然氧化層,還可能破壞SiC晶圓基材,打斷C-Si化學鍵的連接,從而形成遊離的C雜質。

綜上所述：在草莓视频APPIOS下载體清洗活化對SIC晶圓表麵化學狀態的影響實驗中,發現了氧草莓视频APPIOS下载體去除了晶圓表麵的自然氧化層並破壞了晶圓基材,產生了遊離的C-C雜質,並且晶圓產生了新的化學結構Si-O-Si,闡釋了SiC晶圓表麵親水性的提高源於C-OH、Si-OH鍵的大量增加。