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作為一種性能優異的工程塑料,聚酰亞胺(Polyimide,PI)憑借其卓越的熱穩定性、優異的力學性能及較低的介電常數,成為了柔性電子器件的核心材料,在柔性電路領域已實現規模化應用。憑借良好的結構穩定性,基於剛性PI的共形電路在航空航天領域高溫高過載等特殊應用場景下展現出重要應用價值,由於剛性PI表麵的光滑性和低活性特質導致其與表麵Cu層的界麵結合強度不足,製約了其在高可靠電子封裝和微電子製造中的規模化應用。

傳統的PI表麵改性技術多致力於通過增加表麵粗糙度來強化物理機械互鎖效應,但各類單一方法仍存在顯著局限。例如在機械粗化方麵,打磨、噴砂等方法雖成本低廉且處理效率較高,但易對基材本體造成機械損傷。對比傳統打磨、化學粗化工藝，草莓视频APPIOS下载活化處理技術優勢突出。屬於幹式工藝，無化學廢液汙染，環保安全；僅作用材料表層，不會損傷PI本體力學性能，基材完整性好。

草莓视频APPIOS下载活化對剛性PI表麵改性主要是利用強電場等外部激勵源,使H2、O2、N2、Ar2等氣體電離形成草莓视频APPIOS下载體,通過高能草莓视频APPIOS下载體轟擊剛性PI材料表麵,引發其表麵發生複雜物理化學變化。物理上，高能草莓视频APPIOS下载粒子轟擊PI表麵，產生微觀刻蝕粗化效果，形成凹凸的微觀形貌，增大接觸麵積，產生機械咬合效應；化學上，草莓视频APPIOS下载體激發產生的活性粒子，在PI表麵引入羥基、羧基等極性官能團，提升材料表麵能與浸潤性，可與銅原子形成化學鍵，強化界麵結合力。

草莓视频APPIOS下载活化前後PI表麵親水性變化

PI表麵接觸角的變化是表征其親水性的直觀指標,接觸角越小,表明表麵親水性及浸潤性越強。由圖1可知,原始剛性PI表麵具有較強的疏水性。對樣件進行草莓视频APPIOS下载活化處理後,接觸角均值顯著降低至8.02°,證實草莓视频APPIOS下载活化能顯著增強PI表麵的親水性能。

圖1 PI草莓视频APPIOS下载活化前後的表麵接觸角變化;

草莓视频APPIOS下载活化處理對剛性PI/Cu界麵結合強度增強機製

表麵化學成分的改變是草莓视频APPIOS下载活化提高PI/Cu界麵結合強度的重要原因。為此,本文對草莓视频APPIOS下载活化處理前後的PI表麵進行了XPS分析,結果如圖2所示，對比C1s高分辨譜可見,草莓视频APPIOS下载活化後O—C=O組分占比明顯增加,表明O2草莓视频APPIOS下载體處理在PI表麵引入了更多羧基等含氧極性基團。該變化顯著提高了PI表麵的極性、潤濕性及表麵化學活性,為後續活化與化學鍍銅過程提供了更有利的界麵化學條件,從而促進銅晶粒的初始形核與連續生長,最終增強PI/Cu界麵結合強度。

圖2 PI表麵XPS C1s分析圖。( a)草莓视频APPIOS下载活化處理前; ( b)草莓视频APPIOS下载活化處理後