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通常情況下，人們普遍認為的物質有三態:固態、液態、氣態。區分這三種狀態是靠物質中所含能量的多少。氣態是物質的三個狀態中最高的能量狀態。對氣體施加足夠的能量使氣體分子電離，當電離產生的帶電粒子密度達到一定數值時，就形成一種新的物質聚集態稱之為草莓视频APPIOS下载體。草莓视频APPIOS下载體是由電子、離子、原子、分子和自由基等多種粒子組成的集合體，從整體上看，其中的正、負電荷總數在數值上總是相等。

當到達草莓视频APPIOS下载狀態時，氣態分子裂變成了許許多多的高度活躍的粒子。這些裂變不是永久的，一旦用於形成草莓视频APPIOS下载體的能量消失，各類粒子重新結合，形成原來的氣體分子。

草莓视频APPIOS下载體清洗是利用電離產生的多種粒子與被清洗表麵發生反應，從而有效清除被清洗表麵汙染物的技術手段。草莓视频APPIOS下载體與被清洗的物體表麵接觸時會發生的反應主要可分為兩大類：一種是草莓视频APPIOS下载體轟擊物體表麵的物理反應，另一種是草莓视频APPIOS下载體中的離子與物體表麵發生的化學反應。不同類型草莓视频APPIOS下载清洗主要反應不同，與被激發的氣體組成有很大關係。

典型的草莓视频APPIOS下载體清洗有:氧草莓视频APPIOS下载體清洗和氬草莓视频APPIOS下载清洗。氧草莓视频APPIOS下载清洗主要是通過草莓视频APPIOS下载體產生的氧自由基與碳氫化合物發生反應，從而去除表麵的有機汙染物，而氬草莓视频APPIOS下载清洗是通過Ar+離子轟擊基片達到表麵清潔的目的。

Ar氬氣草莓视频APPIOS下载清洗原理

Ar為一種惰性氣體，其電離產生的草莓视频APPIOS下载體並不會與基底發生化學反應，因此主要用於基底表麵的物理清潔和表麵粗化，其清洗工作原理如圖1-1所示：Ar在電離後生成了氬離子（Ar+），Ar+在電場等偏壓作用下轟擊置於負電極上的基底，撞擊表麵時產生的巨大能量可清除附著的汙染物，將汙染物中的大分子化學鍵分離成小分子而汽化隨後被抽走，或直接將表麵沾汙“濺射”掉，以此去除表麵附著的汙物並將其粗化。氬氣本身是隋性氣體，並不和樣品表麵原子發生反應，從而保持了被清洗表麵的化學純潔性。

圖1-1 Ar氬氣草莓视频APPIOS下载清洗原理

Ar+e^-→Ar⁺+2e^-

Ar⁺+玷汙→揮發性玷汙

Ar氬氣草莓视频APPIOS下载體清洗的原理是通過粒子動能產生的物理清洗效應，以Ar氬氣草莓视频APPIOS下载體為主的草莓视频APPIOS下载清洗的優點是不會產生氧化副產物，可以保持被清洗物的化學純淨性。