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整機觸控智能 PLC 控製係統，支持多組工藝配方存儲切換，配備兩路精密流量控製器(MFC)，氣體流量精準可控，廣泛應用於半導體封裝、DBC 陶瓷基板、芯片鍵合前預處理、底部填充工藝、微電子元器件及襯底清洗、晶圓去膠等場合。