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半導體 離線式草莓视频APPIOS下载清洗機NE-PE65F
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產品簡介

NE-PE65F是一款半導體行業專用的真空草莓视频APPIOS下载清洗機,作為一種精密幹法清洗設備,適用於混合集成電路、單片集成電路管殼和陶瓷基板的清洗;可應用於半導體、厚膜電路、元器件封裝前、矽片刻蝕後、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗,可去除金屬表麵的油脂、油汙等有機物及氧化層。還可應用於塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表麵的活化以及生命科學實驗等。

設備采用鏡麵不鏽鋼鈑金,具有優異的耐腐蝕性和潔淨度,電極絕緣部分采用陶瓷電極板托條,腔體密封件采用不含氟的材料,有效避免腔體內氟元素汙染,設備滿足半導體行業高潔淨度的要求,雜質的去除會大大提升產品質量,實現工藝性能的大幅增強,提高良品率及產品可靠性。

設備應用:1、引線鍵合(Wire-bond)前的草莓视频APPIOS下载清洗;2、塑封(Molding)前的草莓视频APPIOS下载清洗;3、底部填充(Under-fill)前的草莓视频APPIOS下载清洗;4、光刻膠的去除(Descum);5、表麵粗化與刻蝕(Etching),使材料易於結合;

產品參數

型號NE-PE65F
草莓视频APPIOS下载發生器頻率射頻13.56MHz
功率500W
腔體材質316 不鏽鋼/航空鋁材
真空泵幹泵
鈑金鏡麵不鏽鋼
電極絕緣陶瓷
腔體容積66L
腔體尺寸400(W)*450(D)*370(H)mm
單層有效處理空間297(W)mm x 364(D)mm
電極板層數6層(可定製)
氣體流量控製器

質量流量計0-500SCCM

工藝氣體通道2路(可增加)
外形尺寸905mm(L)×1030mm(W) ×1735 mm(H)
電源供應AC380V,50/60Hz,三相五線100A


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